技术服务｜了解ESD测试平台特色与寄生电容问题

　　CTI半导体检测及分析中心，致力于为消费品级、工业品级及车规级半导体行业客户提供一站式测试、分析及认证解决方案。目前实验室分别引入Thermo Fisher、HANWA ELECTRONIC双品牌ESD测试平台。

　　Thermo Fisher MK4规格

　　Thermo Fisher MK4高管脚数ESD测试机，可以满足多管脚数芯片测试需求。

　　相比传统的Thermo Fisher MK2测试机，Thermo Fisher MK4支持最高2304pins，避免了多余的转板手续，大幅提高了ESD测试效率。

• 支持2304pin；
• 满足HBM/LU最新规范；
• HBM最高测试能力达8KV；
• LU测试有7组电源供应；
• 内建Curve Tracer可在ESD测试前、后进行IV量测；
• 高电压高电流+/-10V/10A 100V/1A；
• 速度特快，10 pulse/Sec；
• 支持QFN/QFP/SOP/SOT/BGA等封装。

　　HANWA ELECTRONIC N5000规格

　　HANWA ELECTRONIC N5000专业检测仪器，可进行HBM/MM/Latch-up等专业检测。其特色在于机台到GND距离长度极短，减少了继电器寄生电容，提升了测试准确性和可靠性。

• 支持768pin；
• 满足HBM/LU最新规范；
• HBM最高测试能力达8KV；
• LU测试有7组电源供应；
• 内建Curve Tracer可在ESD测试前、后进行IV量测；
• 高电压高电流+/-10V/10A 100V/1A；
• 速度与Thermo Fisher MK2一致；
• 支持QFN/QFP/SOP/SOT/BGA/CSP等封装。

　　常见测试问题答疑

　　问：MK2和MK4是GND relay free的吗？

　　答：MK2和MK4不是GND relay free的设备，是用relay，对所有的Pin脚进行接触的设备。

　　问：机台GND relay寄生电容对MM，CDM波形有影响吗？

　　答：MM测试的时候，一般要使用socket board进行测试。机台在和Socket board接触的时候，是relay进行接触的，所以MM的波形是受到寄生电容的影响的。但是，由于MM是200pF 0ohm的放电模型，放电电流会比较大，因此受寄生电容的影响会比HBM小一些。CDM在测试的时候不使用Socket board，所以不受寄生电容的影响。

　　问：ESD HBM测试IO to IO时，由于大部分pin都已经接入，还会有寄生电容的影响吗？

　　答：对没有接地的Pin来说，也是有可能产生比较大的寄生电容的，所以还是会受到寄生电容的影响。

　　问：ESD寄生电容是从测试角度看的分析，但是从ESD保护角度看，GCMOS也会设计电容来保护电路，那么机台对这种大电容芯片有好处还是坏处？

　　答：无论是何种形式的保护电路，寄生电容都会有不好的影响。因为寄生电容是导致HBM波形发生失真的原因，波形失真的话，就不会得到满足规范的测试。

　　问：如何解决寄生电容问题？

　　答：在传统的ESD测试中，寄生电容问题一直是一个挑战。MK4测试机采用继电器进行接触，不是GND relay free设备，CTI华测检测充分考虑到了这一点，并提供了专业的解决方案。

　　在HBM和MM测试中，CTI华测检测使用Socket board进行测试。虽然受到寄生电容的影响，但在CDM测试中，不使用Socket board，从而避免了寄生电容的影响。

　　CTI华测检测拥有ESD领域资深技术团队，为客户提供专业的测试报告和技术支持。

　　CTI在上海、合肥、中国台湾新竹等地设有ESD/LU实验室，配备专业的ESD检测仪器，确保为客户提供高质量的ESD测试服务。